1 简介

真空(kong)泵是一种旋转(zhuan)式变(bian)容真空(kong)泵须有前级泵配(pei)合(he)方可使用(yong)在较(jiao)(jiao)宽(kuan)的压力(li)范围内有较(jiao)(jiao)大的抽速对(dui)被抽除(chu)气体中(zhong)含有灰(hui)尘和水蒸汽不敏感(gan)广泛用(yong)于冶(ye)金、化(hua)工、食品、电子镀膜(mo)等行业(ye)。[1]

2 特点

(1)在较(jiao)宽的压(ya)力(li)范围内有较(jiao)大的抽(chou)速；

(2)转子(zi)具有(you)良好的(de)几何对(dui)称(cheng)性，故振动(dong)小，运转平稳。转子(zi)间(jian)及转子(zi)和壳体(ti)间(jian)均有(you)间(jian)隙，不(bu)用润滑，摩擦损失小，可大大降(jiang)低驱动(dong)功率，从而(er)可实(shi)现较(jiao)高转速；

(3)泵腔内无需(xu)用油密封和润滑(hua)，可减少油蒸气对(dui)真(zhen)空系(xi)统的污染；

(4)泵(beng)腔内无(wu)压缩，无(wu)排气(qi)阀。结构简单、紧凑，对被抽气(qi)体(ti)中的(de)灰尘和水蒸汽不敏感；

(5)压缩比较(jiao)低(di)，对氢气(qi)抽气(qi)效(xiao)果差(cha)；

(6)转子表面为(wei)(wei)形状较(jiao)为(wei)(wei)复(fu)杂(za)的曲线柱面，加工和检查比较(jiao)困(kun)难。

3 结构

（1） 泵总(zong)体结构型式

真空泵的泵体的布置结构(gou)决定了泵的总体结构(gou)。

立式结构的进(jin)、排气口水平设置，装配和(he)连接管路都(dou)比较方便。但泵的重心较高，在高速运转时(shi)稳(wen)定(ding)性(xing)差(cha)，故这种(zhong)型式多(duo)用于小泵。

卧式泵(beng)(beng)的进气(qi)(qi)(qi)口(kou)在上，排(pai)气(qi)(qi)(qi)口(kou)在下。有时(shi)(shi)为(wei)了真空系(xi)统管道(dao)安装连接(jie)方便，可将排(pai)气(qi)(qi)(qi)口(kou)从水平方向接(jie)出，即进、排(pai)气(qi)(qi)(qi)方向是相互(hu)垂直的。此(ci)时(shi)(shi)，排(pai)气(qi)(qi)(qi)口(kou)可以从左或右两个方向开口(kou)，除接(jie)排(pai)气(qi)(qi)(qi)管道(dao)一端外，另(ling)一端堵死或接(jie)旁通阀。这(zhei)种(zhong)泵(beng)(beng)结构(gou)(gou)重(zhong)心(xin)低(di)，高速运转时(shi)(shi)稳(wen)定性好。一般大、中型泵(beng)(beng)多(duo)采用(yong)此(ci)种(zhong)结构(gou)(gou)。

泵(beng)的两个转子轴与水(shui)平面垂(chui)直安装(zhuang)(zhuang)。这种结构(gou)装(zhuang)(zhuang)配间隙容(rong)易控制，转子装(zhuang)(zhuang)配方(fang)便(bian)，泵(beng)占地(di)面积小。但泵(beng)重心较高且齿轮(lun)拆装(zhuang)(zhuang)不便(bian)，润滑机构(gou)也(ye)相对复杂。

（2） 泵的传动方(fang)式

真空泵的两个(ge)转(zhuan)子(zi)是通(tong)过一对(dui)(dui)高精度(du)齿(chi)轮来实(shi)现其相对(dui)(dui)同(tong)步运(yun)转(zhuan)的。主(zhu)(zhu)(zhu)动(dong)轴(zhou)通(tong)过联轴(zhou)器与电机(ji)联接(jie)。在(zai)(zai)传动(dong)结(jie)构布置上主(zhu)(zhu)(zhu)要有以下两种：其一是电动(dong)机(ji)与齿(chi)轮放(fang)在(zai)(zai)转(zhuan)子(zi)的同(tong)一侧如图。从(cong)动(dong)转(zhuan)子(zi)由(you)电动(dong)机(ji)端齿(chi)轮直接(jie)传过去带动(dong)，这样(yang)主(zhu)(zhu)(zhu)动(dong)转(zhuan)子(zi)轴(zhou)的扭转(zhuan)变形小，则两个(ge)转(zhuan)子(zi)之(zhi)间(jian)的间(jian)隙不会因主(zhu)(zhu)(zhu)动(dong)轴(zhou)的扭转(zhuan)变形大(da)而改变，故使转(zhuan)子(zi)之(zhi)间(jian)的间(jian)隙在(zai)(zai)运(yun)转(zhuan)过程中均匀。这种传动(dong)方式的最大(da)缺(que)点是：a.主(zhu)(zhu)(zhu)动(dong)轴(zhou)上有三个(ge)轴(zhou)承，增(zeng)加(jia)了泵的加(jia)工和(he)装配难度(du)，齿(chi)轮的拆装及(ji)调整也不便；b.整体结(jie)构不匀称，泵的重心偏向电动(dong)机(ji)和(he)齿(chi)轮箱一侧。

    极(ji)(ji)限(xian)(xian)(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)”是(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)泵的(de)(de)一(yi)(yi)(yi)个重要参数，是(shi)反(fan)应泵抽气(qi)能力的(de)(de)特(te)性(xing)值(zhi)，是(shi)与真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)泵相关的(de)(de)一(yi)(yi)(yi)个数值(zhi)，不同的(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)泵可以有(you)不同的(de)(de)“极(ji)(ji)限(xian)(xian)(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)”度。而(er)“理(li)论真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)”是(shi)理(li)论研究(jiu)时(shi)的(de)(de)一(yi)(yi)(yi)个概念，是(shi)排除各种实(shi)际因素的(de)(de)影响而(er)提(ti)炼出的(de)(de)一(yi)(yi)(yi)种最理(li)想的(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)状态。真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)容(rong)器经(jing)充分(fen)抽气(qi)后，稳定在(zai)某一(yi)(yi)(yi)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)度，此真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)度称为极(ji)(ji)限(xian)(xian)(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)。通常(chang)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)容(rong)器须经(jing)12小时(shi)炼气(qi)，再经(jing)12小时(shi)抽真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)，最后一(yi)(yi)(yi)个小时(shi)每隔10分(fen)钟测量一(yi)(yi)(yi)次，取其(qi)10次的(de)(de)平均值(zhi)为极(ji)(ji)限(xian)(xian)(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)值(zhi)。